英特尔代工四大突破性技术解析:为高性能高密度计算铺路
在近期举办的英特IEEE国际电子器件会议IEDM 2024期间,英特尔代工(Intel Foundry)展示了四项半导体技术领域的尔代突破以及相关研究成果。
包括:减成法钌互连技术,工大高性选择性层转移技术(SLT),突破环绕栅极硅基RibbonFET CMOS晶体管技术以及用于微缩的性技析2D GAA晶体管的栅氧化层技术。
同时,术解针对这些前沿技术,密度英特尔代工提交了七篇相关论文,计算这些论文涵盖模块化计算系统、铺路GAA 2D FETs栅氧化层模块开发、英特GaN MOSHEMT晶体管、尔代TMD界面层对pFET性能影响、工大高性硅基RibbonFET CMOS晶体管、突破选择性层转移异构集成技术以及TMD缺陷与器件性能的性技析相关性研究。
此外,术解英特尔还分享了对先进封装和晶体管微缩技术未来发展的愿景,并且提出先进内存集成、混合键合优化带宽、模块化系统及连接解决方案等创新着力点,以推动AI计算朝着高能效方向发展。
下面我们简单介绍一下这些半导体代工层面的前沿技术,因为在未来的半导体产业发展中,这些技术或将逐步登上舞台,为未来的半导体行业创新和发展奠定基础。
减成法钌互连技术(Subtractive Ruthenium)
该技术是英特尔代工在互连微缩方面的一项重大进步。它依赖于超高纯钌材料,通过特定的工艺步骤,在芯片内部形成互连线,主要作用是可以使芯片设计实现更小的互连线间隔,从而优化芯片内部的互连结构。
不仅如此,英特尔还利用薄膜电阻率(thin film resistivity)、空气间隙(airgap)技术,使得通孔周围不再需要昂贵的光刻空气间隙。
同时避免使用选择性蚀刻的自对准通孔(self-aligned via),当互连间距小于等于25nm时,采用减成法钌互连技术实现的空气间隙,可以使线间电容最高降低25%,以替代铜镶嵌工艺。而线间电容的降低有助于提升信号传输速度和降低功耗,进而改善整体芯片效率。
减成法钌互连技术一方面带来了更高的功能密度,使得芯片能够在更小的空间内实现更复杂的功能。另一方面可以降低生产制造成本,从而促进未来半导体芯片芯片技术的发展。
选择性层转移技术(SLT)
该技术主要面向异构集成,它通过高效整合超薄芯粒(chiplet),实现了芯片的功能密度和封装吞吐量的显著提升。
同时它允许以更高的灵活性集成超薄芯粒,从而显著缩小芯片尺寸、提高纵横比。对比传统的芯片到晶圆键合(chip-to-wafer bonding)技术,选择性层转移技术(SLT)将带来高达100倍的芯片封装吞吐量提升,超快速芯片间封装将不再是纸上谈兵。
利用这项技术,代工厂能够制造出面积为1平方毫米、厚度小于人类头发17倍的芯片,并能在几分钟内完成超过15000个芯片的并行晶圆转移。
它非常适合需要高性能、高集成度和低功耗的芯片应用场景,如AI(人工智能)、HPC(高性能计算)、IoT(物联网)以及5G通信等领域。
硅基RibbonFET CMOS晶体管技术
随着晶体管尺寸的不断缩小,传统的鳍式场效应晶体管(FinFET)技术已经逐渐接近其物理极限。为了克服这一挑战,业界开始探索新的晶体管架构,其中环绕栅极硅基RibbonFET CMOS晶体管技术就是其中的一种重要方案。
该技术通过让栅极全面环绕带状的晶体管沟道,实现了对电流的更精确控制,从而提升了晶体管的性能和稳定性。
英特尔代工能够将环绕栅极(Gate-All-Around)RibbonFET晶体管的栅极长度缩减到6nm、硅厚度缩减到1.7nm,有效降低沟道厚度。
相较于传统的水平堆叠方式,RibbonFET晶体管的沟道可以进行垂直堆叠,再加上栅极长度缩短以及沟道厚度降低,晶体管的开关速度和整体性能提升都能够从中获益。英特尔也在6纳米栅极长度下,通过硅沟道厚度缩放和源极/漏极结轮廓工程,实现了行业领先的短沟道效应。
用于微缩的2D GAA晶体管的栅氧化层
在2D GAA晶体管方面,英特尔也取得了相关进展。2D GAA(Gate-All-Around,环绕栅极)晶体管的栅氧化层是其结构中的关键组成部分,对于晶体管的性能和稳定性具有重要影响。栅氧化层位于栅极和沟道之间,主要作用是绝缘和电场控制。
英特尔代工在相关的2D GAA NMOS(N 型金属氧化物半导体)和PMOS(P 型金属氧化物半导体)晶体管制造方面进行了深入研究,并将晶体管的栅极长度微缩到了30nm,有助于进一步提升晶体管性能和稳定性。
此外,栅氧化层通常采用高纯度的二氧化硅材料,英特尔在缩减栅极长度的同时也在2D TMD(过渡金属二硫化物)研究上取得了新进展,未来有望在先进晶体管工艺中替代硅材料。
300mm氮化镓技术新进展
除了上述四大核心技术之外,英特尔在300mm氮化镓(GaN)技术方面也进行了开拓性研究。
作为新兴的用于功率器件和射频(RF)器件的材料,氮化镓相对于硅而言有着更强的性能和更高的电压与温度承受能力,在300毫米GaN-on-TRSOI(富陷阱绝缘体上硅)衬底(substrate)上,英特尔代工制造了业界领先的高性能微缩增强型GaN MOSHEMT(金属氧化物半导体高电子迁移率晶体管)。
GaN-on-TRSOI等工艺上较为先进的衬底,可以通过减少信号损失,提高信号线性度和基于衬底背部处理的先进集成方案,为功率器件和射频器件等应用带来更强的性能。
结语
英特尔作为行业引领者,不断推进半导体设计与制造,此次展示的技术成果展示了其在满足未来计算应用需求、推动摩尔定律发展和半导体行业进步方面的持续努力,也体现了其在技术创新和行业发展中的重要角色。
同时,英特尔代工还分享了对先进封装和晶体管微缩技术未来发展的愿景,包括:先进内存集成(memory integration),以消除容量、带宽和延迟的瓶颈; 用于优化互连带宽的混合键合;模块化系统(modular system)及相应的连接解决方案。
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